DLC涂层是一种非晶薄膜。DLC涂层由于其高硬度、高弹性模量、低摩擦系数、耐磨性和良好的真空摩擦学性能，非常适合作为耐磨涂层，引起了摩擦学界的关注。不同沉积方法制备的DLC涂层的硬度和弹性模量差异很大。用磁过滤阴极电弧法可以制备硬度达到或超过金刚石的DLC涂层。阴极电弧法制备的DLC涂层的最高硬度可达50GPa以上，而离子源结合非平衡磁控溅射法制备的DLC涂层的硬度可达21GPa。膜层中的成分对膜层的硬度有一定的影响。硅和氮的加入可以提高DLC涂层的硬度。DLC涂层具有较高的弹性模量，低于金刚石(110GPa)，但明显高于普通金属和陶瓷。

DLC涂层不仅具有优异的耐磨性，而且具有很低的摩擦系数，一般低于0.2，是一种优异的表面抗磨改性膜。DLC的摩擦系数随不同的制备工艺和薄膜成分的变化而变化，摩擦系数低至0.005。掺杂金属元素可以降低摩擦系数，但添加氢可以提高润滑效果，而且环境对摩擦系数也有一定的影响。然而，一般来说，DLC涂层在摩擦系数方面比传统的硬质薄膜(如氮化钛、碳化钛、氮化钛等)有明显的优势。)，这些传统硬质薄膜的摩擦系数在0.4以上。因此，DLC涂层有可能在许多摩擦学领域取代这些传统的硬质薄膜。

DLC涂层的内应力和结合强度是决定薄膜稳定性和使用寿命以及影响薄膜性能的两个重要因素。高内应力、低结合强度的DLC涂层在应用中容易产生裂纹、皱纹甚至脱落，因此制备的DLC涂层优选具有适中的压应力和较高的结合强度。大多数研究表明，直接沉积在基底上的DLC涂层的膜/基底结合强度普遍较低。采用钛/锡/TiCN/碳化钛中间梯度过渡层的方法，提高了DLC涂层与基体的结合强度。沉积在模具钢上的DLC涂层结合强度达到44N-74N，制备的薄膜导体总厚度可达5um。

DLC涂层具有优异的耐蚀性，各种酸、碱甚至王水都难以腐蚀。然而，掺杂其他元素的类金刚石薄膜的耐腐蚀性降低，这是由于掺杂元素首先被腐蚀，从而破坏了薄膜的连续性。DLC涂层的表面一般是光滑的，对基体的表面光洁度影响不大，但表面光洁度会随着膜厚的增加而降低。不同沉积方法得到的DLC涂层表面光滑度也不同。采用离子源技术沉积的DLC涂层表面质量明显优于电弧离子镀。DLC涂层具有良好的附着力，特别是对有色金属(如铜、铝、锌等)的附着力。)，以及塑料、橡胶、陶瓷等。

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